台籍劳模张永宏：打造“中国芯”，我也要尽一份力

　　张永宏（中）与同事讨论业务。

　　“排雷”专家

　　台海网5月23日讯 据福建日报报道，“五一”假期刚过，福建省福联集成电路有限公司（以下简称“福联公司”）蚀刻工程部课长张永宏就投入到PHEMT(砷化镓赝配高电子迁移率晶体管)等新产品的研发调试中。此前几天，他刚成为我省首批台籍劳模的一员。

　　两年前，张永宏从台湾来到福联公司工作。这是一家成立于2015年的新公司，专注于第二代与第三代半导体芯片制造的晶圆专工服务。初创阶段，从设备调试到生产机台的标准作业流程，一切都得从零开始。作为蚀刻工程部课长，张永宏一上任，就着手逐步完成包括干蚀刻制程、湿蚀刻制程及清洗制程的参数设定及调整等80余项。同时，他还建立了生产机台标准作业流程、机台测机项目流程共20余项。“制定流程、标准，并对蚀刻率、均匀性、颗粒增量等进行监控，是为了机台生产的稳定性，从而确保产品质量。”张永宏告诉记者，由于工作量大，新来的工程师还未上手，并且很多实验和工序又必须不间断地做完，所以，在公司成立初期，加班加点是常态。有大半年时间，他的生活就是厂房和宿舍两点一线。

　　2017年，福联集成电路试生产。看到第一批芯片从生产线上出来，张永宏长长舒了一口气。不过，搞技术的人都知道，这只是“万里长征的第一步”。异常处理改善及优化是蚀刻工程师随时需要处理的问题。当产品异常发生时，张永宏和他的团队会通过显微镜、特性因素图等分析原因，再经过实验测试达到异常改善的目的，借此达到品质优化的目标。前不久，多批芯片出现电性异常的情况，张永宏马上采用扫描式电子显微镜进行扫描分析，找到异常站点，最终发现原来是工艺参数设置不当造成金属连结问题，从而导致电性结果异常。他经过反复调试，终于确定正确参数，并重新导入生产线，确保芯片的顺利生产。

　　“我们生产部门只要遇到问题都会找张永宏帮忙分析解决。”福联公司制造处经理刘志钢告诉记者，无论是药液、气体还是机台内部原因，都有可能引起芯片生产异常，甚至导致芯片整批报废，因此，蚀刻工程部的异常处理改善及优化职能对芯片生产至关重要。而每次做芯片异常分析，张永宏都会把异常点在显微镜下放大拍照，留下图片资料分享给同事，并主动到生产部门详细讲解异常产生的原因和解决办法。这不仅有效规避了问题再次发生，而且也大大提高了工作效率。

　　跨界高手

　　谈起在大陆工作最大的成就感，张永宏觉得就是自己不再是单枪匹马，而是带着一个团队一起往前冲。张永宏在台湾原先学的是工程环境专业，后来误打误撞进入半导体行业。因为是半路出家，他白天利用工作间隙向前辈请教，晚上买书、上网自学，从而也练就了随时跟进行业最前沿发展的自学习惯。担任蚀刻工程部课长后，由于招募来的5名同事多来自化工行业，属于跨界到半导体行业，张永宏就把自己当初的自学之道毫无保留地传授给大家。

　　福联公司的蚀刻工程师魏育才告诉记者，自己大学学的是化学，从未尝试过在指甲盖大的芯片上根据客户需求切出所需形态，更不知半导体为何物，刚到公司时对职业前途很迷茫，所幸遇到了张永宏。每周周会，张永宏都会把自己找到的最新专业资料发送给同事们学习，了解大家上周的学习进度，并且逐个询问工艺上遇到的问题再予以解答，团队的专业水平也因此快速提升。去年，张永宏团队的两名工程师因为工作中的出色表现，被评为公司优秀员工。

　　张永宏说，大陆的半导体产业正处于千载难逢的大发展时期。福联公司第一期投资10亿元人民币，在莆田建设一座砷化镓芯片制造的6英寸晶圆厂，第二期还计划投资20亿元扩建砷化镓产能并建设一座氮化镓芯片制造的晶圆厂。张永宏告诉记者，砷化镓芯片可广泛应用在智能手机、物联网、无人机、军工等许多领域。未来为满足5G基站高频要求，氮化镓芯片的需求也将进一步提升。台湾半导体产业发展成熟，有台积电等国际顶尖公司，但台湾是浅碟形经济体，缺乏市场纵深。大陆从上到下高度重视，支持力度大，市场需求强烈，产业发展空间大，“在这里干很有成就感”。目前，福联公司300名员工中就有40人来自台湾。

　　“大陆出台的‘31条惠台措施’给了我们更多机会、更多荣誉。这次有幸获评省劳模，对我来说是莫大的鼓励。打造‘中国芯’，我希望也能尽自己一份力。”张永宏说。

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