我国首次实现新型深紫外激光输出

在“ 十二五”863 计划新材料领域“ 先进激光材料及全固态激光技术”主题项目支持下，中国科学院理化技术研究所承担的“深紫外激光器及人工晶体关键技术”课题取得重大进展，于近期通过了课题技术验收。

深紫外激光由于波长短、光子能量高，因而在高分辨率成像、光谱应用、微细加工等诸多领域具有重要的应用价值，获得实用化、精密化的深紫外光源一直是科学家们不断追求的目标。我国在深紫外晶体材料和激光技术领域具有国际领先优势，但随着应用的发展，急需更高性能的深紫外全固态激光源（DUV-DPL），如更高功率、更窄线宽。

该课题在国际上首次实现高功率、窄线宽177.3nm深紫外激光输出，解决了大尺寸KBBF 族深紫外晶体生长、优质KBBF-PCT 器件研制、高效深紫外倍频技术、窄线宽深紫外激光产生技术等关键问题，KBBF 晶体厚度突破4mm。该课题完善、巩固了我国拥有的深紫外自主知识产权体系，填补了直接倍频产生高功率、窄线宽深紫外激光的空白，扩展了深紫外激光可实用化、精密化应用。

来源：中国工业报